发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH08298267(A) 申请公布日期 1996.11.12
申请号 JP19950102353 申请日期 1995.04.26
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SHIGA TOSHIHIKO
分类号 H01L21/28;H01L21/338;H01L29/47;H01L29/812;H01L29/872;H01L31/112;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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