PLASMA DEVICE,申请号JP19950103478-传众专利搜索

发明名称	PLASMA DEVICE
摘要
申请公布号	JPH08298256(A)	申请公布日期	1996.11.12
申请号	JP19950103478	申请日期	1995.04.27
申请人	SUMITOMO METAL IND LTD	发明人	YOSHIKI TAKAHIRO;KOMACHI KYOICHI;MABUCHI HIROTSUGU;EHATA TOSHIKI;MATSUMOTO NAOKI
分类号	H05H1/46;C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306	主分类号	H05H1/46
代理机构		代理人
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