| 发明名称 |
AUTOMATIC SAMPLE SEARCHING DEVICE FOR ELECTRON MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08298090(A) |
申请公布日期 |
1996.11.12 |
| 申请号 |
JP19950101888 |
申请日期 |
1995.04.26 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI INSTR ENG CO LTD |
发明人 |
NAKAZAWA HIDEKO;UENO TAKEO;KOBAYASHI HIROYUKI |
| 分类号 |
H01J37/22;(IPC1-7):H01J37/22 |
主分类号 |
H01J37/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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