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发明名称 VAPOR-DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08296037(A) 申请公布日期 1996.11.12
申请号 JP19950098754 申请日期 1995.04.24
申请人 SONY CORP 发明人 HONDA HIDETOSHI;SUZUKI TAIZO
分类号 C23C14/06;C23C14/30;(IPC1-7):C23C14/30 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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