| 发明名称 |
FILM FORMING METHOD AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08296045(A) |
申请公布日期 |
1996.11.12 |
| 申请号 |
JP19950103759 |
申请日期 |
1995.04.27 |
| 申请人 |
HIROSHIMA NIPPON DENKI KK |
发明人 |
TANAKA TOSHIO |
| 分类号 |
C23C16/44;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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