发明名称 FORMING METHOD OF INTER-ELEMENT ISOLATING REGION
摘要
申请公布号 JPH08298261(A) 申请公布日期 1996.11.12
申请号 JP19950103573 申请日期 1995.04.27
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KURODA SHIGEKI
分类号 H01L21/316;H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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