| 发明名称 |
DRY ETCHING METHOD AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08296070(A) |
申请公布日期 |
1996.11.12 |
| 申请号 |
JP19950120476 |
申请日期 |
1995.04.21 |
| 申请人 |
ULVAC JAPAN LTD |
发明人 |
TAKEI HIDEO;KAWAMURA HIROAKI;NAKAMURA KYUZO;KURODA TAKAHIRO;OTA YOSHIFUMI |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F4/00 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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