抗反射性涂料组合物

摘要

一种包含溶于有机溶剂中之聚醯亚胺之抗反射性涂料组合物，其用于形成于化学放大型阻焊层底部之抗反射涂层。该组合物可简便、有效、再现地于高精密度下形成细致抗焊剂图型。

主权项

1. 一种抗反射性涂料组合物,其包含有机溶剂可溶 性聚 醯亚胺及有机溶剂,该聚醯亚胺之结构选自下述通 式(5) 、(8)及(9) 其中 X为-CO-,-SO@ss2-或-C(CF@ss3)@ss2-, X'为-SO@ss2-、-C(CH@ss3)@ss2-、-O-或-C(CF@ss3)@ss2 -, p为0或1, n为使聚醯亚胺之对数粘度介于0.01至5d(/g范围内 之数 字。2. 如申请专利范围第1项之组合物,其另包含 酸产生剂。图示简单说明: 图1图示阻焊剂绘图时所产生之脚部及缺口。 图2显示使用本发明抗反射性涂料组合物形成阻焊 剂图型