发明名称 METHOD OF PREPARING AND RESTORING TARGET FOR MAGNETRON ATOMIZATION IN VACUUM
摘要
申请公布号 RU2068886(C1) 申请公布日期 1996.11.10
申请号 SU19914944148 申请日期 1991.06.10
申请人 AKTSIONERNOE OBSHCHESTVO OTKRYTOGO TIPA "VSEROSSIJSKIJ ALYUMINIEVO-MAGNIEVYJ INSTITUT" 发明人 SILNIKOV VLADIMIR N;KEJZMAN ERIK S;SIMCHENKO NATALYA V;ZHOLOBOVA ELENA P;SHUSTEROV VIKTOR S;BELYAKOV YURIJ I;BAKHAROV YURIJ V;TIMOFEEV VLADIMIR V;SILNIKOVA ELENA F;KHRUSTALEV VLADIMIR A;VITOSHINSKIJ YURIJ N
分类号 C23C14/35;(IPC1-7):C23C14/35 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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