PIEGE CRYOGENIQUE, ARRANGEMENT CRYOGENIQUE, POMPE A VIDE ET PROCEDE DE PIEGEAGE CRYOGENIQUE

摘要

L'invention concerne un piège cryogénique.
Elle se rapporte à un piège cryogénique (12) destiné à être placé entre une pompe à vide (16) et une chambre soumise au pompage, et qui comprend un arrangement (20) refroidi cryogéniquement afin qu'il piège les vapeurs allant de la chambre soumise au pompage vers la pompe à vide, et un organe protecteur passif (30) placé entre l'arrangement refroidi cryogéniquement et la pompe à vide, l'organe protecteur étant isolé de l'atmosphère ambiante de manière que la température de l'organe protecteur oscille entre celle de l'arrangement refroidi cryogéniquement et celle de la pompe à vide.
Application aux installations de pompage pour vide poussé.