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发明名称 Halbleiter-Wafer-Waschvorrichtung und -Waschverfahren
摘要
申请公布号 DE4222272(C2) 申请公布日期 1996.11.07
申请号 DE19924222272 申请日期 1992.07.07
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 YAMASAKI, SHIRO, FUKUOKA, JP
分类号 H01L21/304;B08B17/04;H01L21/00;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/304;B08B3/02 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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