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发明名称 Verfahren zur Herstellung von gesintertem Siliciumnitrid
摘要
申请公布号 DE69302771(T2) 申请公布日期 1996.11.07
申请号 DE1993602771T 申请日期 1993.07.16
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD., OSAKA, JP 发明人 TSUZUKI, YASUSHI, C/O ITAMI WORKS OF, ITAMI-SHI, HYOGO, JP;AWAZU, TOMOYUKI, C/O ITAMI WORKS OF, ITAMI-SHI, HYOGO, JP;YAMAKAWA, AKIRA, C/O ITAMI WORKS OF, ITAMI-SHI, HYOGO, JP
分类号 C04B35/584;C04B35/593;F01L1/04;F01L3/02;F02F5/00;F16J9/26;(IPC1-7):C04B35/584 主分类号 C04B35/584
代理机构 代理人
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