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发明名称 Verfahren zur Herstellung von Gate-Elektroden
摘要
申请公布号 DE3844339(C2) 申请公布日期 1996.11.07
申请号 DE19883844339 申请日期 1988.12.30
申请人 LICENTIA PATENT-VERWALTUNGS-GMBH, 60596 FRANKFURT, DE 发明人 DICKMANN, JUERGEN, 7900 ULM, DE
分类号 H01L21/285;H01L21/288;H01L21/338;H01L29/423;H01L29/47;(IPC1-7):H01L21/338;H01L29/812;H01L21/60 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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