| 摘要 |
<p>Die Vorrichtung zur Messung der Dicke transparenter Gegenstände (1) hat eine Strahlungsquelle (3) kurzer Kohärenzlänge und ein Michelson-Interferometer (5), in dessen Meßarm (11) der auszumessende Gegenstand (1) und in dessen Referenzarm (13) ein die optische Weglänge infolge Eigenrotation periodisch veränderndes Weglängenvariationselement (15) angeordnet ist. Die Querschnittsfläche (34) des Elements (15), in welcher der Referenzstrahl zu liegen kommt, ist wenigstens viereckig, damit der Referenzstrahlengang im Element (15) wenigstens zwei Reflexionen an den Elementinnenflächen hat. Der aus dem Element (15) austretende Referenzstrahl (41e) ist durch einen feststehenden Reflektor (30) in das Element (15), bevorzugt in sich selbst rückreflektierbar. Die Abmessungen der Seitenflächen des Elements (15), der Einstrahlungsort auf diesen sowie der Brechungsindex des Elementmaterials können nun derart gewählt werden, daß in einer bevorzugten Ausführungsform die mit dem rotierenden Element (15) erreichbare Weglängendifferenz über dem Drehwinkel angenähert linear verläuft. Diese Linearität ergibt eine geringe Bandbreite der Dopplerfrequenz der den Gegenstand (1) bescheinenden Strahlung. Diese geringe Bandbreite der Dopplerfrequenz gestattet eine ausgezeichnete Filterung und ergibt somit ein geringes Signal-Rausch-Verhältnis des Meßsignals.</p> |
