发明名称
摘要
申请公布号 JP2550998(B2) 申请公布日期 1996.11.06
申请号 JP19870135522 申请日期 1987.05.29
申请人 SONY CORP 发明人 NOGUCHI TAKASHI;MORITA YASUSHI
分类号 H01L21/20;H01L21/263;H01L21/84;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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