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发明名称
FORMATION METHOD FOR RESIST PATTERN
摘要
申请公布号
JPH08293454(A)
申请公布日期
1996.11.05
申请号
JP19950101426
申请日期
1995.04.25
申请人
NEC CORP
发明人
SAKURA NAOKI
分类号
G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
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