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发明名称 PROBE CARD CHECKER
摘要
申请公布号 JPH08292210(A) 申请公布日期 1996.11.05
申请号 JP19950095252 申请日期 1995.04.20
申请人 NEC CORP 发明人 KOMATSUZAKI KAZUHIRO
分类号 G01R31/26;G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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