发明名称 RADIATION SENSOR AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH08292102(A) 申请公布日期 1996.11.05
申请号 JP19950095077 申请日期 1995.04.20
申请人 MITSUBISHI MATERIALS CORP 发明人 NAGATOMO KENSHO;NAKAGAWA TERUO;KOSHIMURA MASAMI
分类号 G01J5/02;G01J5/34;H01C7/02;H01C7/04;H01L35/00;(IPC1-7):G01J5/02 主分类号 G01J5/02
代理机构 代理人
主权项
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