发明名称
摘要
申请公布号 NL7106777(A) 申请公布日期 1971.11.24
申请号 NL19710006777 申请日期 1971.05.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/22;H01L21/331;H01L21/761;H01L27/00;H01L29/08;(IPC1-7):H01L7/54;H01L7/44;H01L7/34 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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