发明名称 |
STRUCTURE OF SHOWER HEAD OF TREATING DEVICE AND METHOD FOR SUPPLYING TREATING GAS |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH08291385(A) |
申请公布日期 |
1996.11.05 |
申请号 |
JP19950119403 |
申请日期 |
1995.04.20 |
申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD;TERU ENG KK |
发明人 |
FUJIKAWA YUICHIRO;HATANO TATSUO;MURAKAMI MASASHI |
分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
C23C16/44 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|