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经营范围
发明名称
METHOD FOR SUPPLYING SLURRY
摘要
申请公布号
JPH08293250(A)
申请公布日期
1996.11.05
申请号
JP19950094041
申请日期
1995.04.19
申请人
SONY CORP
发明人
FURUI HISATOSHI;TAMAKI YOSHIO
分类号
H01J9/227;(IPC1-7):H01J9/227
主分类号
H01J9/227
代理机构
代理人
主权项
地址
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