| 发明名称 |
NON-MASS SEPARATION TYPE ION INJECTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08293279(A) |
申请公布日期 |
1996.11.05 |
| 申请号 |
JP19950095446 |
申请日期 |
1995.04.20 |
| 申请人 |
FUJI XEROX CO LTD |
发明人 |
TAKAHASHI MUTSUYA;HIKIJI TAKETO |
| 分类号 |
C23C14/48;H01J37/317;H01L21/265;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01J37/317 |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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