发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH08293599(A) 申请公布日期 1996.11.05
申请号 JP19950101047 申请日期 1995.04.25
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 OGAWA IKUO
分类号 H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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