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发明名称 INSPECTION METHOD AND DEVICE OF PGA TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08293531(A) 申请公布日期 1996.11.05
申请号 JP19950100962 申请日期 1995.04.25
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OTA TATSUYA
分类号 G01B11/24;G01N21/88;G01N21/956;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
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