| 发明名称 |
TREATING APPARATUS AND TREATING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08293479(A) |
申请公布日期 |
1996.11.05 |
| 申请号 |
JP19960024636 |
申请日期 |
1996.01.17 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO ELECTRON KYUSHU KK |
发明人 |
SADA TETSUYA;HIROSE OSAMU;TATEYAMA KIYOHISA |
| 分类号 |
H01L21/304;G05D23/00;G05D23/19;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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