| 发明名称 |
PROBE CARD, PROBE USED FOR IT, AND MANUFACTURING METHOD FOR PROBE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08292209(A) |
申请公布日期 |
1996.11.05 |
| 申请号 |
JP19950153796 |
申请日期 |
1995.04.24 |
| 申请人 |
NIPPON DENSHI ZAIRYO KK |
发明人 |
OKUBO MASAO;OKUBO KAZUMASA;MURAKAMI NOBUYUKI;IWATA HIROSHI |
| 分类号 |
G01R31/26;G01R1/067;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/067 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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