发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08293555(A) 申请公布日期 1996.11.05
申请号 JP19950097255 申请日期 1995.04.21
申请人 FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD 发明人 MORITA AKIO
分类号 H01L21/822;H01L21/82;H01L27/04;H01L27/118;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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