| 发明名称 |
INORGANIC MATERIAL MANUFACTURING SOLUTION AND METHOD OF MANUFACTURING INORGANIC FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08293495(A) |
申请公布日期 |
1996.11.05 |
| 申请号 |
JP19950096508 |
申请日期 |
1995.04.21 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MAEKAWA SACHIKO;OISHI TOMOJI;ISHIKAWA TAKAO;KAMOTO DAIGORO;TAKAHASHI KEN |
| 分类号 |
C01B13/32;B01J19/00;C01B33/12;C30B30/00;H01L21/316;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
C01B13/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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