| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08293447(A) |
申请公布日期 |
1996.11.05 |
| 申请号 |
JP19950098776 |
申请日期 |
1995.04.24 |
| 申请人 |
NIPPON STEEL CORP |
发明人 |
GOTO MITSUHIKO;SHIROU AIJI;TACHIKAWA AKIYOSHI;FUTAKI TOSHIROU;HASHIGUCHI GEN |
| 分类号 |
H01L21/308;H01L21/02;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
H01L21/308 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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