发明名称 MANUFACTURE OF CMOS SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08288399(A) 申请公布日期 1996.11.01
申请号 JP19950090983 申请日期 1995.04.17
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 AOYAMA MASASHIGE
分类号 H01L21/316;H01L21/336;H01L21/76;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/088;H01L27/092;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/823;H01L21/823 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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