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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH08288379(A) 申请公布日期 1996.11.01
申请号 JP19960040504 申请日期 1996.02.02
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 ISHIKAWA AKIO
分类号 H01L21/76;H01L21/765;H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/76;H01L21/823 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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