| 发明名称 |
CHARGE EVALUATION SAMPLE AND CHARGE EVALUATION METHOD USING ELECTRON BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08288352(A) |
申请公布日期 |
1996.11.01 |
| 申请号 |
JP19950088928 |
申请日期 |
1995.04.14 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRON CORP |
发明人 |
UEDA TAKAKO;OGURA TAKEISA |
| 分类号 |
G01B15/00;G01R29/24;G01R31/302;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01B15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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