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发明名称 BEAM SHAPING OPTICAL SYSTEM AND EXPOSURE DEVICE EQUIPPED WITH THE SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH08286145(A) 申请公布日期 1996.11.01
申请号 JP19950112379 申请日期 1995.04.13
申请人 NIKON CORP 发明人 TANITSU OSAMU
分类号 G02B27/09;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G02B27/09 主分类号 G02B27/09
代理机构 代理人
主权项
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