| 发明名称 |
VAPOR GROWTH METHOD OF COMPOUND SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08288229(A) |
申请公布日期 |
1996.11.01 |
| 申请号 |
JP19960139870 |
申请日期 |
1996.06.03 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
MANNOU MASAYA;OGURA MOTOTSUGU |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/205;H01L21/331;H01L29/73;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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