发明名称 EXTERNALLY CONTROLLABLE BONDING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08288460(A) 申请公布日期 1996.11.01
申请号 JP19950088197 申请日期 1995.04.13
申请人 TOSHIBA CORP;TOSHIBA MICROELECTRON CORP 发明人 MURAKAMI TOSHIMICHI;ARAKI TAKASHI
分类号 H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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