发明名称 SEMICONDUCTOR STORAGE ELEMENT, SEMICONDUCTOR STORAGE DEVICE AND THEIR MANUFACTURE AND CONTROL
摘要
申请公布号 JPH08288469(A) 申请公布日期 1996.11.01
申请号 JP19960040326 申请日期 1996.02.05
申请人 HITACHI LTD 发明人 ISHII TOMOYUKI;YANO KAZUO;SEKI KOICHI;MINE TOSHIYUKI;KOBAYASHI TAKASHI
分类号 H01L21/8247;H01L27/10;H01L29/66;H01L29/786;H01L29/788;H01L29/792;H01L49/00;(IPC1-7):H01L27/10;H01L21/824 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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