发明名称 GAS INTRODUCTION PIPE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08288225(A) 申请公布日期 1996.11.01
申请号 JP19950092854 申请日期 1995.04.18
申请人 FURONTETSUKU:KK;OSAKA OXYGEN IND LTD;MOTOYAMA SEISAKUSHO:KK 发明人 FUKUDA KOICHI;FUKUI HIROFUMI;IWASAKI CHISATO;MIZOGAMI SATOSHI;SUGANO YOICHI;MURAKAMI KOICHI
分类号 F16L55/07;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 F16L55/07
代理机构 代理人
主权项
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