| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR FORMING SILICON OXIDE FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH08288283(A) |
申请公布日期 |
1996.11.01 |
| 申请号 |
JP19950113669 |
申请日期 |
1995.04.14 |
| 申请人 |
RICOH CO LTD |
发明人 |
MIURA HIROSHI;HINO TAKESHI |
| 分类号 |
H01L21/31;H01L21/316;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
