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发明名称 MICROWAVE ION SOURCE
摘要
申请公布号 JPH08287857(A) 申请公布日期 1996.11.01
申请号 JP19950092536 申请日期 1995.04.18
申请人 KOBE STEEL LTD 发明人 ICHIHARA CHIKARA;IMANAKA HIROBUMI;INOUE KENICHI
分类号 C23C14/48;H01J27/18;H01J37/08;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/08 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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