| 发明名称 |
INSPECTING APPARATUS FOR SUBSTRATE OF LIQUID CRYSTAL DISPLAY UNIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08285911(A) |
申请公布日期 |
1996.11.01 |
| 申请号 |
JP19950109043 |
申请日期 |
1995.04.10 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD;TERU ENG KK |
发明人 |
MOTODA KAZUO;KUBOTA TAMIO |
| 分类号 |
G01R31/26;G01R31/00;G01R31/28;G02F1/13;G02F1/1333;H01L21/66;H01L29/786;(IPC1-7):G01R31/00;G02F1/133 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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