| 发明名称 |
MODULE TYPE CLEAN ROOM CONDUIT AND USAGE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08285342(A) |
申请公布日期 |
1996.11.01 |
| 申请号 |
JP19960110398 |
申请日期 |
1996.04.04 |
| 申请人 |
MOTOROLA INC |
发明人 |
KAATEISU SHII RONGU;MAIKERU ERU PEEPU |
| 分类号 |
F24F7/06;H01L21/677;(IPC1-7):F24F7/06 |
主分类号 |
F24F7/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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