发明名称 |
METHOD AND SYSTEM FOR MACHINING WORK |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH08288313(A) |
申请公布日期 |
1996.11.01 |
申请号 |
JP19950093346 |
申请日期 |
1995.04.19 |
申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI YONEZAWA ELECTRON CO LTD |
发明人 |
FUNAYAMA SHINYA |
分类号 |
B25J19/04;H01L21/50;H01L23/50;(IPC1-7):H01L21/50 |
主分类号 |
B25J19/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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