| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE, FABRICATION THEREOF AND INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH08288302(A) |
申请公布日期 |
1996.11.01 |
| 申请号 |
JP19950091028 |
申请日期 |
1995.04.17 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP |
发明人 |
MASUDA HIROSHI;TAGAMI TOMONORI;OKA TORU;HIRATA KOJI;MATSUBARA HIROKAZU |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/331;H01L29/205;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/331 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
