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发明名称 ELEKTRISCHES ELEMENT UND VERFAHREN ZUR KONTROLLE DER LEITFÄHIGKEIT
摘要
申请公布号 DE69026607(T2) 申请公布日期 1996.10.31
申请号 DE19906026607T 申请日期 1990.12.27
申请人 NIPPON PETROCHEMICALS CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 YAMAMOTO, HIROMICHI, KAWASAKI-SHI KANAGAWA 211, JP;KUMEHARA, HIDEO, KAWASAKI-SHI KANAGAWA 211, JP;NISHIBE, TAKASHI, TOKYO 168, JP
分类号 G11C13/02;H01L51/00;H01L51/30;(IPC1-7):H01L51/20;H01L29/772 主分类号 G11C13/02
代理机构 代理人
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