| 发明名称 |
Vakuumkammer, Vakuumbehandlungsanlage mit einer solchen Kammer sowie Transportverfahren |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE4235677(C2) |
申请公布日期 |
1996.10.31 |
| 申请号 |
DE19924235677 |
申请日期 |
1992.10.22 |
| 申请人 |
BALZERS AG, BALZERS, LI |
发明人 |
SCHERTLER, ROMAN, WOLFURT, AT |
| 分类号 |
B65G49/07;C23C14/56;G11B7/26;H01L21/00;H01L21/677;(IPC1-7):B65G49/07;B65G47/84;B65G47/90;B65G37/02;C23C14/00;C23C16/00;C23F4/00 |
主分类号 |
B65G49/07 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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