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发明名称
VERFAHREN ZUR BILDUNG VON EPITAXIALSCHICHTEN
摘要
申请公布号
DE69027206(T2)
申请公布日期
1996.10.31
申请号
DE1990627206T
申请日期
1990.12.14
申请人
CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP
发明人
ICHIKAWA, TAKESHI CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU TOKYO 146, JP;MIZUTANI, HIDEMASA CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU TOKYO 146, JP
分类号
C23C14/14;C23C14/34;C23C14/35;C23C14/56;C30B23/02;C30B23/08;H01L21/203
主分类号
C23C14/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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