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发明名称
摘要
申请公布号 JP2548961(B2) 申请公布日期 1996.10.30
申请号 JP19870305281 申请日期 1987.12.02
申请人 TOKYO EREKUTORON KK;MITSUBISHI DENKI KK 发明人 NISHIMURA TADASHI;KUMAGAI HIROMI
分类号 H01L21/20;H01L21/268;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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