Evacuating system with off-gas cleaning and process for operating it

摘要

Ein Evakuierungssystem (1) mit Abgasreinigung besteht aus mindestens einer Vakuumpumpeinrichtung (4) und mindestens einer dieser nachgeschalteten Reinigungseinrichtung (10) für die von der Vakuumpumpeinrichtung (4) gelieferten fluiden Medien. Zur Vermeidung von Kondensaten in einer Gas-Verbindungsleitung (9) und zur Verringerung der Stellfläche sind die mindestens eine Vakuumpumpeinrichtung (4) und die mindestens eine Reinigungseinrichtung (10) zu einer Baueinheit zusammengefaßt und die zwischen der Vakuumpumpeinrichtung (4) und der Reinigungseinrichtung (10) angeordnete Gas-Verbindungsleitung (9) ist auf dem kürzestmöglichen Wege verlegt und wird dadurch zumindest im wesentlichen ohne äußere Wärmezufuhr durch die Kompressionswärme der Vakuumpumpeinrichtung (4) auf einer Temperatur gehalten, die oberhalb der Kondensationstemperatur der kondensationsfähigen Komponenten liegt. Ferner kann über der mindestens einen Vakuumpumpeinrichtung (4) ein zentrales Steuergerät (16) für die Vakuumpumpeinrichtung (4) und die Reinigungseinrichtung (10) angeordnet sein. Beim Betrieb wird die Reinigungseinrichtung (10) mit einer Eintrittstemperatur der fluiden Medien von mindestens 80 °C, vorzugsweise von mindestens 160 °C, betrieben. <IMAGE>