APPARATUS FOR THERMAL TREATMENT OF THIN FILM WAFER,申请号EP19950917741-传众专利搜索

发明名称	APPARATUS FOR THERMAL TREATMENT OF THIN FILM WAFER
摘要
申请公布号	EP0706635(A4)	申请公布日期	1996.10.30
申请号	EP19950917741	申请日期	1995.04.28
申请人	VARIAN ASSOCIATES, INC.	发明人	KYUNG, HYUN-SU;CHOI, WON-SONG;LEE, HUENG-JIK;KIM, SEK-YOUNG;SHIN, JUNG-HO;CHOI, CHANG-HWAN
分类号	C23C14/50;H01L21/00;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/324;H01L21/68;H01L21/683;(IPC1-7):F28F7/00;C23C16/00	主分类号	C23C14/50
代理机构		代理人
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