发明名称
摘要
申请公布号 JP2548417(B2) 申请公布日期 1996.10.30
申请号 JP19900013113 申请日期 1990.01.22
申请人 TOKAI RIKA CO LTD 发明人 TANABE KATSUMI;TANASE TOSHIO;SHIMURA HARUO
分类号 H05K3/28;B05C13/00;H01L21/56;(IPC1-7):H01L21/56 主分类号 H05K3/28
代理机构 代理人
主权项
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