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发明名称
摘要
申请公布号
JP2548417(B2)
申请公布日期
1996.10.30
申请号
JP19900013113
申请日期
1990.01.22
申请人
TOKAI RIKA CO LTD
发明人
TANABE KATSUMI;TANASE TOSHIO;SHIMURA HARUO
分类号
H05K3/28;B05C13/00;H01L21/56;(IPC1-7):H01L21/56
主分类号
H05K3/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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